高端装备与核心装置是“大国重器”,是我国成为制造强国的基础,也是江西建立现代化经济体系,实现“工业强省”的主攻方向。
4月22日,南昌市人民政府与中微半导体设备(上海)有限公司在南昌前湖迎宾馆签订了战略合作框架协议。
据合作协议,中微半导体将充分发挥自身管理、技术、人才等优势及在纳米级刻蚀设备和技术、MOCVD等薄膜设备和技术领域的地位,在南昌高新区建设高端MOCVD装备制造基地。南昌市政府将把中微公司作为重要合作伙伴,提供政策支持和优质服务,全力支持中微公司发展。
签约仪式上,中微公司还与兆驰半导体、乾照光电、聚灿光电、德豪润达、士兰明芯等企业签订了批量MOCVD设备销售合同。
据双方合作协议,中微半导体将在南昌大规模制造具有自主知识产权的MOCVD设备,并不断扩大生产规模,将南昌高新区打造成为全球最重要、规模最大的高端MOCVD装备制造基地;推进在南昌开展MOCVD相关的基础科学研究,包括红黄、深紫、功率器件及Micro LED等第三代半导体的应用产品开发,逐步将南昌中微打造成为在国内外有重大影响力的研发平台和世界级MOCVD研发、制造及创新中心;积极促进中微公司生产基地及上下游供应链企业落户南昌高新区,吸引国际一流的设备和材料厂商落户,形成半导体高端设备制造的产业集群;与南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心合作,加快推进硅衬底LED原创技术产业化。
中微半导体已落户南昌高新区,一期租赁9000平方米厂房进行过渡生产,现已经实现部分投产,预计今年5月上旬可实现全面投产;项目二期将在2019年启动建设。截至3月底,南昌中微已获得MOCVD设备订单约200腔体。
据悉,正在亚洲地区40多条国际领先的生产线上运行的中微反应台(包括介质刻蚀、TSV和MOCVD)已将近800个。中微半导体开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备不仅已在客户生产线投入量产,而且已成为在蓝光LED市场占有率最大的领先设备。
众所周知,在MOCVD设备行业,早期以美国vecoo以及德国爱思强为主。然而,这些进口设备价格颇为昂贵,没有雄厚资金的厂商很难有实力引入。不过随着中微半导体、中晟等国产设备厂商的强势崛起,国产MOCVD设备在性能上与进口设备相差无几,而且在价格上实现大幅下调。
国产设备的起势为中国LED芯片产业的发展创造了极大的空间。其中,中微半导体MOCVD设备在生产工艺上与vecoo设备的无缝对接,免除了芯片厂商对于工艺导入成本上的担忧;另外,起相对进口设备而言,“低廉”的价格很大程度上解除了芯片厂商的资金压力。
围绕“大国重器”之任,中微半导体高端装备MOCVD生产项目的落户,为江西LED产业的核心竞争力注入了新的血液,进一步发展壮大高新区LED产业链,极大地提升电子信息装备产业发展水平,助推“南昌光谷”成为中国规模最大、技术水平最高、产业链最完整的LED生产基地。